日本電子推出分辨率達(dá)63pm的透射電鏡JEM-ARM300F

　  日前，JEOL宣布推出新型原子分辨率電鏡JEM-ARM300F。

　　透射電鏡一直以來是材料研發(fā)當(dāng)中進(jìn)行微觀結(jié)構(gòu)分析的重要工具。然而，隨著納米級或原子水平的先進(jìn)材料的研發(fā)，針對這類材料的合成研究越來越需要高分辨率的成像和分析技術(shù)。

　　為了滿足這種需求，日本電子一直聚焦于推出帶有球差校正器的透射電鏡技術(shù)來超越目前的分辨率極限。在2009年，日本電子推出了JEM-ARM200F，200kV的透射電鏡，采用了球差校正技術(shù)，分辨率達(dá)到了80pm(STEM成像)，這是首臺達(dá)到如此高的分辨率的商品化電鏡。為達(dá)到原子分辨率水平，JEM-ARM200F整合各種功能來確保高度穩(wěn)定的性能。目前，已有超過100臺ARM200F安裝在世界各地，許多研究人員對于電鏡原子水平的成像和分析非常熟悉。

　　同時，隨著像差校正器的廣泛使用，用戶對于透射電鏡又涌現(xiàn)出各種各樣新的需求，除了高分辨率，還有高分析靈敏度、原位分析、靈活的加速電壓控制，和像差校正的易操作性。

　　因而，JEOL研發(fā)了JEM-ARM300F，可以說是JEM-ARM200F的升級版，300kV的原子分辨率透射電鏡，采用日本電子自有的像差校正技術(shù)。JEM-ARM300F的又被稱作“GRAND ARM”，分辨率可達(dá)63pm(STEM分辨率)。GRAND ARM可以根據(jù)用戶的需求用于超高分辨率成像，或高靈敏度的分析應(yīng)用，以及原位分析。

　　該儀器主要的目標(biāo)用戶是研究機(jī)構(gòu)或半導(dǎo)體制造商。